CRIS Current Research Information System

M. Bellei, B. Margesin, R. Gaddi, A. Gnudi, F. Giacomozzi (2006). Capacitive Test-Structures Design Methodology for the Extraction of Air-Gap and Dielectric Thickness of a MEMS Process. s.l : s.n.

Capacitive Test-Structures Design Methodology for the Extraction of Air-Gap and Dielectric Thickness of a MEMS Process

BELLEI, MARCO;GADDI, ROBERTO;GNUDI, ANTONIO;
2006
2006
Proc. DTIP 2006
305
309
M. Bellei, B. Margesin, R. Gaddi, A. Gnudi, F. Giacomozzi (2006). Capacitive Test-Structures Design Methodology for the Extraction of Air-Gap and Dielectric Thickness of a MEMS Process. s.l : s.n.
M. Bellei; B. Margesin; R. Gaddi; A. Gnudi; F. Giacomozzi
4.01 Contributo in Atti di convegno
File in questo prodotto:
Eventuali allegati, non sono esposti

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11585/40804
 Attenzione

Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo

Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact