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Capacitive Test-Structures Design Methodology for the Extraction of Air-Gap and Dielectric Thickness of a MEMS Process / M. Bellei; B. Margesin; R. Gaddi; A. Gnudi; F. Giacomozzi. - STAMPA. - (2006), pp. 305-309. (Intervento presentato al convegno 2006 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS tenutosi a Stresa, Italy nel April 26-28, 2006).

Capacitive Test-Structures Design Methodology for the Extraction of Air-Gap and Dielectric Thickness of a MEMS Process

BELLEI, MARCO;GADDI, ROBERTO;GNUDI, ANTONIO;
2006
2006
Proc. DTIP 2006
305
309
Capacitive Test-Structures Design Methodology for the Extraction of Air-Gap and Dielectric Thickness of a MEMS Process / M. Bellei; B. Margesin; R. Gaddi; A. Gnudi; F. Giacomozzi. - STAMPA. - (2006), pp. 305-309. (Intervento presentato al convegno 2006 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS tenutosi a Stresa, Italy nel April 26-28, 2006).
M. Bellei; B. Margesin; R. Gaddi; A. Gnudi; F. Giacomozzi
4.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11585/40804
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