B.Charlet, L.Di Cioccio, J.Dechamp, M.Zussy, T.Enot, R.Canegallo, et al. (2005). 3D Technology based on aligned wafer-towafer direct bonding for capacitive coupling interconnectivity. COLORADO SPRINGS, COLORADO : s.n.
3D Technology based on aligned wafer-towafer direct bonding for capacitive coupling interconnectivity
CANEGALLO, ROBERTO;FAZZI, ALBERTO;GUERRIERI, ROBERTO
2005
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