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Simulation of micro-mirrors for optical MEMS / Zanuccoli, Mauro; Fiegna, Claudio; Cianci, E.; Wiemer, C.; Lamperti, A.; Tallarida, G.; Lamagna, L.; Losa, S.; Rossini, S.; Vercesi, F.; Semenikhin, I.. - ELETTRONICO. - (2017), pp. 81-84. (Intervento presentato al convegno 2017 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD) tenutosi a Kamakura, Japan nel 7-9 September 2017) [10.23919/SISPAD.2017.8085269].

Simulation of micro-mirrors for optical MEMS

M. Zanuccoli;C. Fiegna
;
2017
2017
2017 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD)
81
84
Simulation of micro-mirrors for optical MEMS / Zanuccoli, Mauro; Fiegna, Claudio; Cianci, E.; Wiemer, C.; Lamperti, A.; Tallarida, G.; Lamagna, L.; Losa, S.; Rossini, S.; Vercesi, F.; Semenikhin, I.. - ELETTRONICO. - (2017), pp. 81-84. (Intervento presentato al convegno 2017 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD) tenutosi a Kamakura, Japan nel 7-9 September 2017) [10.23919/SISPAD.2017.8085269].
Zanuccoli, Mauro; Fiegna, Claudio; Cianci, E.; Wiemer, C.; Lamperti, A.; Tallarida, G.; Lamagna, L.; Losa, S.; Rossini, S.; Vercesi, F.; Semenikhin, I.
4.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11585/610525
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