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Zanuccoli, M., Fiegna, C., Cianci, E., Wiemer, C., Lamperti, A., Tallarida, G., et al. (2017). Simulation of micro-mirrors for optical MEMS [10.23919/SISPAD.2017.8085269].

Simulation of micro-mirrors for optical MEMS

M. Zanuccoli;C. Fiegna
;
2017
2017
2017 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD)
81
84
Zanuccoli, M., Fiegna, C., Cianci, E., Wiemer, C., Lamperti, A., Tallarida, G., et al. (2017). Simulation of micro-mirrors for optical MEMS [10.23919/SISPAD.2017.8085269].
Zanuccoli, Mauro; Fiegna, Claudio; Cianci, E.; Wiemer, C.; Lamperti, A.; Tallarida, G.; Lamagna, L.; Losa, S.; Rossini, S.; Vercesi, F.; Semenikhin, I...espandi
4.01 Contributo in Atti di convegno
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11585/610525
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