CRIS Current Research Information System

A. Cavallini, M. Rossi, M. Cocuzza, C. Ricciardi (2004). Characterization of polycrystalline 3CB-SiC thin films for MEMS and pressure sensors application. s.l : IEEE.

Characterization of polycrystalline 3CB-SiC thin films for MEMS and pressure sensors application

CAVALLINI, ANNA;ROSSI, MARCO;
2004
2004
IEE conference proceedings. The Fifth International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems, 2004. ASDAM 2004.
25
28
A. Cavallini, M. Rossi, M. Cocuzza, C. Ricciardi (2004). Characterization of polycrystalline 3CB-SiC thin films for MEMS and pressure sensors application. s.l : IEEE.
A. Cavallini; M. Rossi; M. Cocuzza; C. Ricciardi;
4.01 Contributo in Atti di convegno
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