Annealing effects on silicon oxy-nitride thin films: optical, structural and morphological properties

PERANI, MARTINA;FAZIO, MARIA ANTONIETTA;CAVALCOLI, DANIELA
2016

BIAMS 2016 - Beam Injection Assessment of Microstructures in Semiconductors
M. Perani; M. A. Fazio; N. Brinkmann; B. Terheiden; D. Cavalcoli
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