Annealing induced oxygen relocation in silicon oxy-nitride thin films

PERANI, MARTINA;CAVALCOLI, DANIELA
2015

2015
Multifunctional binary and complex oxides films and nanostructures for nanoelectronics and energy applications
Perani, M.; Brinkmann, N.; Hammud, A.; Terheiden, B.; Cavalcoli, D.
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