Perani, M., Brinkmann, N., Hammud, A., Terheiden, B., Cavalcoli, D. (2015). Annealing induced oxygen relocation in silicon oxy-nitride thin films.

Annealing induced oxygen relocation in silicon oxy-nitride thin films

PERANI, MARTINA;CAVALCOLI, DANIELA
2015

2015
Multifunctional binary and complex oxides films and nanostructures for nanoelectronics and energy applications
Perani, M., Brinkmann, N., Hammud, A., Terheiden, B., Cavalcoli, D. (2015). Annealing induced oxygen relocation in silicon oxy-nitride thin films.
Perani, M.; Brinkmann, N.; Hammud, A.; Terheiden, B.; Cavalcoli, D.
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