Valutazione della risposta in temperatura di sensori piezoresistivi miniaturizzati

Il presente lavoro descrive la caratterizzazione del comportamento in temperatura di sensori piezoresistivi miniaturizzati. I sensori, realizzati in silicio amorfo e depositati su vetro, hanno un funzionamento assimilabile a quello dei ponti interi estensimetrici, ma con dimensioni e consumo elettrico molto minori rispetto ai normali estensimetri a resistenza. Sono state provate otto diverse configurazioni di sensori in assenza e presenza di carico, considerando tre ripetizioni. Il lavoro descrive le attrezzature utilizzate e la catena di misura approntata per l’acquisizione contestuale dell’uscita elettrica e della temperatura. I risultati rilevati sono elaborati con considerazioni sulla loro linearità, sugli effetti d’isteresi e sulla ripetibilità di quanto osservato nelle tre prove. Il test statistico ANOVA ha inoltre mostrato come la deriva termica, pur diversa per le varie configurazioni, sia indipendente dal carico.