Annealing effects on silicon oxy-nitride thin films: optical, structural and morphological properties / M. Perani; M. A. Fazio; N. Brinkmann; B. Terheiden; D. Cavalcoli. - ELETTRONICO. - (2016). (Intervento presentato al convegno BIAMS 2016 - Beam Injection Assessment of Microstructures in Semiconductors tenutosi a Versailles, France nel 5-9 giugno 2016).

Annealing effects on silicon oxy-nitride thin films: optical, structural and morphological properties

PERANI, MARTINA;FAZIO, MARIA ANTONIETTA;CAVALCOLI, DANIELA
2016

2016
BIAMS 2016 - Beam Injection Assessment of Microstructures in Semiconductors
Annealing effects on silicon oxy-nitride thin films: optical, structural and morphological properties / M. Perani; M. A. Fazio; N. Brinkmann; B. Terheiden; D. Cavalcoli. - ELETTRONICO. - (2016). (Intervento presentato al convegno BIAMS 2016 - Beam Injection Assessment of Microstructures in Semiconductors tenutosi a Versailles, France nel 5-9 giugno 2016).
M. Perani; M. A. Fazio; N. Brinkmann; B. Terheiden; D. Cavalcoli
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